Project information
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
- Project Identification
- GA15-00863S
- Project Period
- 1/2015 - 12/2017
- Investor / Pogramme / Project type
-
Czech Science Foundation
- Standard Projects
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
- Cooperating Organization
-
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
Charles University
Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně.
Publications
Total number of publications: 32
2017
-
Simultaneous electrical and optical study of spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Journal of Physics D: Applied Physics, year: 2017, volume: 50, edition: 1, DOI
-
Spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Year: 2017, type:
-
Spokes occurrence in HiPIMS discharge at different magnetic field strengths
Year: 2017, type: Conference abstract
-
Study of spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Year: 2017, type: Conference abstract
-
Temporal evolution of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS process
Year: 2017, type: Conference abstract
-
The Study of Spoke Merging and Splitting in HiPIMS Plasma
Year: 2017, type: Conference abstract
-
Ti atom and Ti ion number density evolution in standard and multi-pulse HiPIMS
Journal of Physics D: Applied Physics, year: 2017, volume: 50, edition: 36, DOI
-
Titanium Atom and Ion Number Density Evolution in Reactive HiPIMS
Year: 2017, type: Conference abstract
-
Transition from spokes into a homogeneous plasma in HiPIMS discharge
Year: 2017, type: Conference abstract
2016
-
Behavior of spokes at different magnetic fields
Year: 2016, type: Conference abstract