Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

Warning

This publication doesn't include Institute of Computer Science. It includes Faculty of Science. Official publication website can be found on muni.cz.

Authors	ŽEMLIČKA Radek JÍLEK Mojmír VOGL Petr SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr
Year of publication	2013
Type	Conference abstract
MU Faculty or unit	Faculty of Science
Citation
Description	This work deal with preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron.
Related projects:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev