Zařízení ke snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení
Title in English | Device for reducing or removing organic and inorganic contamination of vacuum system of display and analytic devices |
---|---|
Authors | |
Year of publication | 2014 |
MU Faculty or unit | |
Description | Device for removing contamination in a low pressure analytical apparatuses by photocatalytic process. This process runs during exposure with UV radiation. Application no. 2014-29163 |
Related projects: |