Properties of nc-TiC/a-C:H films prepared by PVD-PECVD process at low and high ion bombardment

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr
Rok publikování	2012
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Two sets of nc-TiC/a-C:H coatings with varying chemical composition were prepared using a hybrid PVD-PECVD deposition process combining sputtering of titanium target in argon/acetylene. The range of chemical compositions was chosen appropriately to optimize the hardness of the coatings – from 30at. % to 70 at. % Ti. The main goal of this contribution is focused on comparison of structure, chemical composition, and mechanical properties of the coatings prepared at different ion bombardment conditions. Time evolution of the deposition process is also taken into account.
Související projekty:	Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev