Diffuse coplanar surface barrier discharge for cleaning and activation of glass substrate
Název česky | Difúzní koplanární výboj pro čištění a aktivaci skleněných substrátů |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2012 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Chem. listy |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | barrier discharge; DCSBD; plasma cleaning |
Popis | DCSBD výboj byl použit pro čištění a aktivaci skleněných substrátů. Povrch substrátů byl analyzován pomocí AFM. |
Související projekty: |