Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza SOUČEK Pavel KUDRLE Vít VAŠINA Petr

Rok publikování 2013
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Surface & coatings technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897213004428?via%3Dihub
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Magnetron sputtering; Diagnostics of deposition process; Nanocomposites; Metal – carbon coatings
Přiložené soubory
Popis Hybrid PVD – PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon (PECVD). This process can be used for preparation of metal carbon nanocomposites (MeC/C(:H)) or DLC layers doped with metal (DLC:Me). The aim of this paper is to describe and understand elementary processes in fl uencing the hybrid PVD – PECVD process. A non-monotonous dependence of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply fl ow is reported. Explanation of non- monotonous evolutions through the analysis of the target state correlating the process characteristics with properties of coatings prepared by this process is proposed.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info