Temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2015
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Number densities of sputtered Ti atoms and ions in their ground levels were determined by developed technique based on effective branching fractions. Densities were determined for single pulse,sequence of pulses and after the end of the pulse.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy