Observation of cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behaviour in HiPIMS

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Pozorovanie oscilácií na katódovom napätí a výbojovom prúde a správanie sa spokov v HiPIMS
Autoři	KLEIN Peter HNILICA Jaroslav HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr
Rok publikování	2015
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Book of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/792
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	HiPIMS; spokes; magnetron sputtering; plasma instabilities
Popis	The oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution in HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends at given pressure only on actual value of the discharge current. Rotation of the spokes over the cathode and the frequency of the oscillations shows different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.
Související projekty:	Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy