Numerical enhancement of the microwave cavity method for plasma density measurement

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	FALTÝNEK Jan KUDRLE Vít TESAŘ Jakub TÁLSKÝ Antonín VOLFOVÁ Martina
Rok publikování	2017
Druh	Další prezentace na konferencích
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Microwave resonator method is well established and sensitive technique of plasma density measurements, especially in low pressure plasmas. The traditional Slater solution of the electromagnetic field perturbation (suitable for small perturbations only) is replaced with more accurate, yet comprehensible numerical model, also addressing further phenomena such as the resonator eigenmodes and the stability of the dominant mode.
Související projekty:	Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy