Boron-based thin layers deposited by RF plasma jet with slit nozzle

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Tenké vrstvy na báze bóru deponované RF plazmovou štrbinovou tryskou
Autoři	PIJÁKOVÁ Barbora ALBERTI Milan ALBERTI Milan KLÍMA Miloš KLÍMA Miloš
Rok publikování	2016
Druh	Článek ve sborníku
Konference	HAKONE XV: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON HIGH PRESSURE LOW TEMPERATURE PLASMA CHEMISTRY: WITH JOINT COST TD1208 WORKSHOP: NON-EQUILIBRIUM PLASMAS WITH LIQUIDS FOR WATER AND SURFACE TREATMENT
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	friction coefficient; RF plasma jet; trimethyl borate
Popis	Příprava tenkých vrstev s nízkým koeficientem tření pomocí systému RF atmosferických plazmových štěrbinových trysek s přídavkem aerosolu organického prekurzoru.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Research center of surface treatment Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy