Enhanced permeability dielectric thin films with tailored properties deposited by magnetron sputtering on silicon

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Dielektrické tenké vrstvy se zvýšenou permeabilitou a s přizpůsobenými vlastnostmi nanášené magnetronovým naprašováním na křemíku
Autoři	FALUB Claudiu V. PIETAMBARAM Srinivas V. YILDIRIM Oguz MEDUŇA Mojmír CAHA Ondřej HIDA Rachid ZHAO Xue AMBROSINI Jan ROHRMANN Hartmut HUG Hans J.
Rok publikování	2019
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	AIP Advances
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	Full Text
Doi	http://dx.doi.org/10.1063/1.5079477
Klíčová slova	Magnetic hysteresis; Metal oxides; X-ray diffraction; Magnetron sputtering; X-ray reflectivity; X-ray fluorescence
Popis	Studovali jsme strukturní a magnetické vlastnosti dielektrik s rozšířenou permeabilitou (EPD) FeCo / Al2O3 - vícevrstvé tenké vrstvy nanesené na destičkách 8 "-Si v průmyslovém magnetronovém naprašovacím systému.
Související projekty:	CEITEC Nano CEITEC 2020