Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KLEIN Peter HNILICA Jaroslav LOCKWOOD-ESTRIN Francis BRADLEY James VAŠINA Petr
Rok publikování	2019
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is a promising physical vapour deposition (PVD) technique, utilizing short pulses (several 10 s of microseconds) to deliver the power into the discharge. It is characterized by a very high concentration of ions in the deposition flux and it does not create macro-particles, unlike the arc deposition process. HiPIMS plasma manifests a self-organization into the ionization zones called spokes, rotating above the racetrack area of the target (the race track being the area on the target with the highest erosion induced by the sputtering) in both clockwise and anticlockwise E cross B direction depending on current density.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev