Fast camera imaging and strip probe measurements of spokes in HiPIMS plasma

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	HNILICA Jaroslav KLEIN Peter ŠLAPANSKÁ Marta BRADLEY James VAŠINA Petr
Rok publikování	2019
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	The simultaneous measurements using three strip probes flush-mounted into the segmented target together with the fast camera optical imaging are presented. 2D reconstruction of the spokes from current measured by the strip probes is compared to the broadband plasma emission image. Additionally, the dual diagnostic system allows the merging of a set of spokes to be studied as they rotate.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev