Temporal evolution of sputtered species number densities in reactive HiPIMS with nitrogen admixture

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Časový vývoj hustoty rozprášených častíc v reaktivnom HiPIMS procese s příměsí dusíku
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína FEKETE Matej KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2019
Druh	Další prezentace na konferencích
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	V tejto práci bol študovaný efekt dusíka na časový vývoj výbojového prúdu, napätia, tlaku a ionizačného stupňa rozprášených častíc v HiPIMS procese v blízkosti terča. Časový vývoj hustoty rozprášených titánových atómov a iónov počas pulzu bol vyhodnotený pomocou spektroskopickej motódy využívajúcej efektívne vetviace pomery. Časový vývoj ionizačného stupňa rozprášených častíc je podobný ako vývoj hustoty titánových iónov počas celej hysteréznej krivky. Ionizačný stupeň rozprášených titánových atómov je okolo 90% nezávisle na prietoku dusíka.
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev