Technologie pro depozici materiálu napařováním
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2019 |
Druh | Poloprovoz, technologie, odrůda, plemeno |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Popis | Navržená technologie ukazuje, že použití stejnosměrného oblouku vede ke více než dvojnásobně rychlejší depozici vrstvy v porovnání s pulzním obloukem, a tedy je proces mnohem efektivnější a méně energeticky náročný. Použitím pulzního oblouku ovšem umožňuje zvýšit tok iontů o téměř jeden řád, což vyústí k přípravě mnohem kvalitnějších deponovaných vrstev (nižší drsnosti či větší hustotě), což vyústí ve větší přidanou hodnotu daných vrstev. |
Související projekty: |