Diagnostics of reactive magnetron sputtering

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování
Autoři	VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek
Rok publikování	2010
Druh	Vyžádané přednášky
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Sledování reaktivního magnetronového naprošování a depozice/leptání tenkých diamantu podobných vrstev pomocí měření vyšších harmonických frekvencí.
Související projekty:	Časná diagnostika a léčba kardiovaskulárních chorob Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev