Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ČADA Martin HUBIČKA Zdeněk HNILICA Jaroslav KLEIN Peter VAŠINA Petr
Rok publikování	2020
Druh	Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Popis	V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Změřené parametry plazmatu prokázali, že zařízení je schopné zdvojnásobit depoziční rychlosti při zachování ionizačního stupně rozprášených částic.
Související projekty:	Národní centrum kompetence pro materiály, pokročilé technologie, povlakování a jejich aplikace