OVĚŘENÁ TECHNOLOGIE - Průmyslová příprava TiZrN vrstev

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SOCHORA Vjačeslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2021
Druh	Poloprovoz, technologie, odrůda, plemeno
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Popis	Technologie přípravy tvrdých Ti-Zr-N vrstev se zvýšenou lomovou houževnatostí je založena na reaktivním magnetronovém odprašování rotujícího válcového terče, který je tvořen segmenty titanu (Ti) a zirkonia (Zr).
Související projekty:	Vývoj průmyslové technologie pro depozice tvrdých XBC a TiXN povlaků se zvýšenou lomovou houževnatostí