Temporal studies of titanium ionised density fraction in reactive HiPIMS with nitrogen admixture

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Časově rozlišená studie ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu s příměsí dusiku
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2021
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Source Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	Odkaz na publikáciu
Doi	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac333f
Klíčová slova	plasma diagnostic; HiPIMS; ionisation fraction; titanium; nitrogen
Popis	Tato publikace popisuje časový vývoj hustot základního stavu atomů a iontů titanu a podílu ionizovaných částic titanu během procesu vysokovýkonného impulsního magnetronového naprašování. Tento pulzní proces je studován v nereaktivní argonové atmosféře a v reaktivní argon-dusíkové atmosféře. V oblasti blízko rozprašovaného terču byla naměřena maximální podíl ionizovaných částic 95 % uprostřed pulzu.
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev