Deposition and characterization of organosilicon thin films from TEOS+O2 gas mixture

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan KRYŠTOF P. NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk NĚMEC Petr
Rok publikování	1995
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Acta Physica Univesitatis Comenianae
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek