Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk
Rok publikování	1995
Druh	Kapitola v knize
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek