Influence of deposition parameters on mechanical properties of plasma deposited silicon oxide films on polycarbonates
Název česky | Vliv parametrů naprašování na mechanické vlastnosti vrstev SiO nanesených plazmaticky na polykarbonátové podložky |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 1997 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | WDS97 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Související projekty: |