Mechanical and optical properties of silicon oxide protective coatings prepared by PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Mechanické a optické vlastnosti SiO ochranných vrstev připravených technikou PECVD
Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan
Rok publikování	1997
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Juniormat
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek