X-ray scattering study of interface roughness correlation in Mo/Si and Ti/C multilayers for X-UV optics

• Autoři: JERGEL M.; HOLÝ Václav; MAJKOVÁ E.; LUBY S.; SENDERÁK R.; STOCK H.J.; MENKE D.; KLEINEBERG U.; HEINZMANN U.
• Rok publikování: 1998
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Physica B condensed matter
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus

Související projekty

• Laboratoř tenkých vrstev a nanostruktur