Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Strukturní charakterizace planárních W/Si vrstevnatých mřížek rtg reflektivitou a skenovací elektronovou mikroskopií
Autoři	JERGEL M. MIKULÍK Petr MAJKOVÁ E. LUBY Š. SENDERÁK R. PINČÍK E. BRUNEL M. KOSTIČ I. KONEČNÍKOVÁ A.
Rok publikování	1999
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	J. Phys. D: Appl. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#JergelMikulikXTOP98
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	gratings; multilayers; x-ray reflectivity
Popis	Strukturní charakterizace leptaných amorfních W/Si vrstevnatých mřížek s laterální periodicitou 800 nm rtg reflektivitou. Drsnost rozhraní byla vzata do úvahy přístupem utlumení koherentní amplitudy u zobecněných Fresnelových koeficientů.
Související projekty:	Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur