Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ELIÁŠ Marek ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma KUDRLE Vít KLAPETEK Petr JANČA Jan
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Přiložené soubory	ispc01.zip
Popis	Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD
Související projekty:	Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek