Improvement of the Efficiency of the Silicon P-I-N cells by Silicon Incorporated Diamond-like Carbon Antireflective Coating

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SLÁDEK Petr BURŠÍKOVÁ Vilma SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	19th International Conference on Amorphous and Microcrystalline Semiconductors
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Diamod-like carbon; antireflective coatings; solar cells
Popis	In the present work, the optoelectronical and mechanical properties of the silicon solar cells coated by PECVD with DLC:Si coatings, prepared under different deposition conditions are investigated.
Související projekty:	Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek