Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KUDRLE Vít ZAJÍČKOVÁ Lenka BRABLEC Antonín
Rok publikování	2001
Druh	Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Popis	Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process
Související projekty:	Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek