Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BRABLEC Antonín BUCHTA Jiří BURŠÍKOVÁ Vilma JAŠEK Ondřej KUDRLE Vít SLAVÍČEK Pavel TRUNEC David ZAJÍČKOVÁ Lenka
Rok publikování	2002
Druh	Odborná kniha
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Popis	Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application
Související projekty:	Spektrální a optická diagnostika vf-výbojů hořících za atmosferického tlaku Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek