Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Pedagogickou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2002
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Conference Proceedings of Inter-Academia 2002
Fakulta / Pracoviště MU	Pedagogická fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma deposition;surface energy; atmospheric discharge
Popis	Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek