Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel KUDRLE Vít ŠMÍD Radek
Rok publikování	2002
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	RF discharge; mode transition; sheath
Přiložené soubory	124_1.pdf
Popis	We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen
Související projekty:	Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek