Plasmachemical nitridation of boron precursors

• Autoři: ELIÁŠ Marek; KUDRLE Vít; JANČA Jan; BROŽEK Vlastimil
• Rok publikování: 2002
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Czech. J. Phys.
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: boron nitride; plasma chemistry

Přiložené soubory

• 206_1.pdf
• sppt2002.zip

• Popis: We carried out the plasmachemical nitridation of boron precursors

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek