Raman bands in microwave plasma assisted chemical vapour deposited films

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KADLEČÍKOVÁ Magdaléna BREZA Juraj VESELÝ Marián FRGALA Zdeněk KUDRLE Vít JANČA Jan JANÍK Ján BURŠÍK Jiří
Rok publikování	2003
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Microelectronics Journal
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Microwave plasma assisted chemical vapour deposition; Diamond; Raman spectroscopy
Přiložené soubory	Raman-bands.pdf
Popis	Raman spectroscopy is employed to characterize thin diamond films deposited by microwave plasma assisted chemical vapour deposition technique using a gas mixture of methane and hydrogen. The surface morfology of the films was analyzed by scanning electron microscopy. We have identified submicron crystals on (100) facets of diamond crystals which gave rise to bands in the Raman spectrum centred at 1170 and 1456 cm-1.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek