Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry
| Název česky | Optické vlastnosti diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících SiOx studované kombinovanou optickou metodou spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2004 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Thin Solid Films |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/TSF455_393.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Ellipsometry; Reflection; Optical properties; Amorphous materials |
| Popis | V článku budou uvedeny výsledky studia optických vlastností diamantu podobných uhlíkových vrstev s různým množstvím SiOx připravených plasmově podporovanou chemickou deposicí ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu na křemíkové podložky. Tyto výsledky jsou dosaženy pomocí kombinované metody založené na současné interpretaci experimentálních dat obdržených pomocí úhlově proměnné spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při téměř kolmém dopadu světla v blízké ultrafialové a viditelné oblasti spektra. Pro interpretaci experimentálních dat byl využit náš nový dispersní model optických konstant založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů. V rámci tohoto modelu je odvozena nová analytická tříparametrická dispersní formule. Tyto tři parametry jsou úměrné hustotám pí a sigma valenčních elektronů. |
| Související projekty: |