Deposition of polymer films by rf discharge at atmospheric pressure
Název česky | Depozice polymerních vrstev v rf výboji za atmosférického tlaku |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2004 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Czech. J. Phys. |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | deposition of films; rf discharge; plasma diagnostics |
Popis | Depozice polymerních vrstev v rf výboji za atmosférického tlaku |
Související projekty: |