Energy Spectra of Ions in the Hydrogen Capacitively Coupled Low-Pressure Discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Energiová spektra iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém plazmatu
Autoři	DVOŘÁK Pavel JÁNSKÝ Jaroslav ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	SAPP XV - Book of contributed papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	IEDF hydrogen capacitive plasma low-pressure
Popis	Závislost rozdělovacích funkcí (a jejich integrálů) energie iontů letících z vodíkového kapacitně vázaného nízkotlakého výboje na poloze mezi elektrodami.
Související projekty:	Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek