Electrical Properties of SiOxHyCz Coatings Prepared by PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Elektrické vlastnosti vrstev SiOxHyCz připravených PECVD
Autoři	FRANCLOVÁ Jana KUČEROVÁ Zuzana BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	15th Symposium on Aplications of Plasma Processes
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	thin films; electrical properties
Popis	U MIM struktur můžeme pozorovat dva druhy elektrické vodivosti, které můžou být buď limitované elektrodami (Schottyho amise, tunelování) a nebo procesy zapřičiněné objemovými procesy v dielektriku (Poole-Frenkelova vodivost). Vrsvy připravené PECVD vykazují Poole-Frenkelovu vodivost při nižších napětích a při vyšších vykazují tunelování.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek