Distribution and Burgers vectors of dislocations in semiconductor wafers investigated by rocking-curve imaging
| Název česky | Analýza distribuce a Burgersových vektorů dislokací v polovodičových deskách zobrazením rocking-křivek |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | J. Appl. Crystallography |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#LubbertFerrariMikulik-JAC-2005 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; wafers; defects; InP; GaAs |
| Popis | Nedávno jsme vypracovali metodu 'zobrazování rocking-křivkami' (RCI), která s velkým prostorovým rozlišením umožňuje zobrazení nedokonalostí krystalové mříže ve velkých krystalech, jako jsou polovodičové desky.Metoda je založena na kombinaci analýzy rtg rocking křivek a digitální rtg difrakční topografie. V tomto článku navrhujeme rozšíření této metody, které umožní kvantifikovat hustotu dislokací a její distribuci na povrchu krystalu. Prezentujeme výsledky z téměř bezdislokačních S-dopovaných InP a z GaAs krystalů, na nichž je vidět nenáhodná distribuce dislokací. |
| Související projekty: |