Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Lokální analýza rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN zobrazením rocking křivek
Autoři

LÜBBERT D. BAUMBACH T. MIKULÍK Petr PERNOT P. HELFEN L. KÖHLER R. KATONA T.M. KELLER S. KATONA T.M. DENBAARS S.P.

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of physics D: Applied physics
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#LubbertBaumbachMikulik-JPD-2005
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; GaN; ELO
Popis Referujeme o nejnovějších výsledcích v prostorově rozlišené rtg difrakci, rozšiřující techniku zvanou zobrazení rocking křivkami na rozlišení 1--2 um. Potenciál metody je demonstrován na sérii GaN vzorků připravených epitaxním přerostením (ELO). Kvantitativní informace o krystalografické rozorientaci a kvalitě mřížky může být získána přímým zobrazením s vysokým laterálním rozlišením. Srovnáváme výsledky ze dvou vzorků ELO-GaN rostlých na různých substrátech. Lokální kvalita mřížky je analyzována pomocí šířky píků difrakčních profilů zaznamenaných jednotlivými pixely na kameře. Rozšíření šířky píků měřené laboratorní rtg difrakcí je interpretováno, a zjištěno, že neznačí degradaci v lokální kvalitě mřížky.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info