Effect of Structural Imperfections on the Characteristics of YSZ Dielectric Layers Grown by E-beam Evaporation fron the Crystalline Taggets
Název česky | Vliv strukturních nedokonalostí na charakteristiky YSZ dielektrických vrstev |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Acta Physica Slovaca |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | Yttria stabilized zirconia; thin films; electrical conductivity; microhardness; refractive index; relative permitivity |
Popis | Merene vrstvicky byly deponovany pomoci e-beam vyparovani na yttriem stabilizovanych zirkoniovych vzorcich na n-dopovanem Si (111) pri teplote 750 C. Mereni elektricke vodivosti a aktivacni energie v zavislosti na koncentraci yttria ukazuje na pritomnost izolovanych kyslikovych iontovych vakanci a s tim spojenych bodovych poruch. Vyledky mereni mechanickych resp. optickych vlastnosti (mikrotvrdost),resp. index lomu ukazuji na vhodnost vyuziti vrstvicek pro ochranné ucely. |
Související projekty: |