Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H , a-SiC:H
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel BURŠÍK Jiří
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Book of abstract - ICANS 21
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	amorphous semiconductor; mechanical properties; thin film
Popis	Cílem práce je komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H a a-SiC:H připravených v plazmatu za různých depozičních podmínek.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů