Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Rozdělovací funkce energií iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém výboji
Autoři	DVOŘÁK Pavel JÁNSKÝ Jaroslav ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Acta physica slovaca
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	IED hydrogen capacitively coupled low-pressure discharge plasma
Popis	Článek uvádí rozdělovací funkce energií iontů (IED) H3+, H2+ a H+ vyletujících z vf. (13,56 MHz) kapacitně vázaného asymetrického vodíkového výboje, zapalovaného mezi dvěma vodorovnými elektrodami. IED byly měřeny hmotnostním a energiovým analyzátorem (PPM 421) z boku horizontálně mířícím do prostoru mezi elektrodami. Vstup do PPM byl zeměný a byl umístěn v horizontální vzdálenosti 15 mm od krajů elektrod. Publikujeme tvary IED v různých svislých vzdálenostech od buzené elektrody. Detekovali jsme ionty H+ s energií o více než 10 eV vyšší, než je maximální energie sedlové struktury, a jejich přítomnost vysvětlili disociativní ionizací molekuly H2. Naměřili jsme nezanedbatelnou impedanci vlastního plazmatu viditelnou na změně šířky sedlové struktury IED při posunu měřícího bodu. Uvádíme také vliv tlaku a vf. výkonu.
Související projekty:	Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek