REFRACTORY METAL FILM DEPOSITION BY THERMIONIC VACUUM ARC METHOD

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku
Autoři	MUSA G. MUSTATA I. LUNGU C.P. SURDU BOB C. VLADOIU R. BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	17th ISPC
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	REFRACTORY METAL; FILM DEPOSITION; THERMIONIC VACUUM ARC METHOD
Popis	Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů