Combination of optical methods and atomic force microscopy at characterization of thin film systems
| Název česky | Kombinace optických metod a mikroskopie atomové síly pro zkoumání systémů tenkých vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Acta physica slovaca |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/APS55_271.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Roughness; Ellipsometry; Spectrophotometry; AFM |
| Popis | V tomto článku jsou uvedeny příklady kombinace analytických metod použitelných pro charakterizaci systémů tenkých vrstev. Jako optické metody jsou užity víceúhlová spektroskopická elipsometrie a spektroskopická reflektometrie. Je ukázáno, že tyto metody mohou být aplikovány pro úplné určení optických i materiálových parametrů látek vytvářejících tenké vrstvy. Navíc je ukázáno, že kombinované metody AFM a specifikovaných optických metod je možné využít k určení hodnot parametrů charakterizujících některé defekty zkoumaných systémů tenkých vrstev. Je také presentována diskuse spolehlivosti metod umožňujících určit hodnoty statistických veličin popisujících drsnost rozhraní. Podrobná pozornost je věnována výsledkům dosaženým pro tyto veličiny pomocí AFM pro velmi jemně drsná rozhraní tenkých vrstev (tj. pro nanometricky drsná rozhraní). Praktický význam uvedených kombinovaných metod je ilustrován pomocí chararakterizace několika vzorků TiO2 vrstev, hydrogenovaných polymorfních křemíkových vrstev a oxidových vrstev vzniklých termickou oxidací podložek z galium arsenidu. |
| Související projekty: |