Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX

• Autoři: JAŠEK Ondřej; KARÁSKOVÁ Monika; BURŠÍKOVÁ Vilma; ZAJÍČKOVÁ Lenka; FRANTA Daniel; FRGALA Zdeněk; MATĚJKOVÁ Jiřina; REK Antonín; KLAPETEK Petr; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Moderní trendy ve fyzice plazmatu a pevných látek II
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://aquila.physics.muni.cz/~abr92/seminar_BB_2006/
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: nanocrystalline diamond;PECVD; microwave discharge
• Popis: Nanokrystalické diamantové (NCD) vrstvy byly připraveny depozicí z plynné fáze (CVD) za nízkého tlaku v mikrovlnném plazmatu generovaném v reaktou typu ASTEX. Vrstvy byly připraveny na křemíkových substrátech s orientací (111) ze směsi metanu (9 %) a vodíku při teplotě substrátu 1090 K. Dodávaný mikrovlnný výkon (2,45 GHz) byl 850 W a pracovní tlak činil 7,5 kPa. Pro účel nukleace byl substrát vystaven vysokofrekvenčnímu výboji, který vytvářel samopředpětí -125 V. Připravené vrstvy vykazovaly velmi malou drsnost (kvadratická odchylka výšek 9,1 nm) a tvrdost a elastický modul dosahovaly hodnot 70 a 375 GPa. Optické konstanty byly určeny pomocí elipsometrie a měření reflexe a vyhodnoceny na základě Rayleigh-Riceovi teorie a disperzního modelu založeného na parametrizaci hustoty stavů. Depoziční rychlost byla 57 nm/min a to včetně 5 minutové nukleační fáze.

Související projekty

• Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů