Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel JANČA Jan BURŠÍK Jiří BLÁHOVÁ O. PEŘINA V. KLAPETEK P.
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Application of Nanocrystalline Diamond and Diamond Like Carbon Materials
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	PECVD; DLC; mechanical properties; adhesion; thermal stability
Popis	Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů