IN-SITU INVESTIGATIONS OF SI AND GE INTERDIFFUSION IN SIGE MULTILAYERS AND CASCADE STRUCTURES

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	In-situ studie Si a Ge interdifuse v SiGe multivrstvách a kaskádových strukturách
Autoři	MEDUŇA Mojmír NOVÁK Jiří HOLÝ Václav BAUER Günther FALUB Claudiu TSUJINO Soichiro GRÜTZMACHER Detlev
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	XTOP 2006 - 8th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	interdiffusion; x-ray diffraction; thin films
Popis	Provedli jsme in-situ měření rtg reflektivity a difrakce v oblasti teplot 700 C. Profil obsahu Ge v SiGe multivrstvách byl použit pro simulacespekter rtg reflexe a difrakce.
Související projekty:	Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur