X-Ray Reflectivity measurements to evaluate thin films and multilayers thickness: preliminary results of the first world Round-Robin Test

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Měření rtg reflexe pro vyhodnocení tloušťky tenkých vrstev a multivrstev: předběžné výsledky prvního světového Round Robin testu
Autoři	AGNIHOTRI Dileepa ASADCHIKOV V. E. BONTEMPI Elza CHANG Chang-Hwan COLOMBI Paolo DEPERO Laura E. FARNWORTH Mark FUJIMOTO Toshiyuki GIBAUD Alan JERGEL Matej BOWEN D. Keith KRUMREY Michael LAMPERTI Alessio LAFFORD Tamzin A. MATYI Richard J MA T. MEDUŇA Mojmír MILITA Silvia SAKURAI Kenji SHABEL'NIKOV Leonid SONI S. ULYANENKOV Alexander LEE A. van der WIEMER Claudia
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	XTOP 2006 - 8th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	standartization; x-ray reflectivity
Popis	Test round robin byl odstartován v rámci 20 laboratoří v září 2005 za účelem získání reprodukovatelnosti spekter a chyb ve vypočtených tloušťkách vrstev několika vzorků GaAs/GaAl multivrstev. Byly presentovány a diskutovány předběžné výsledky.
Související projekty:	Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur