Modeling of optical constants of organosilicon thin films by parameterization of denstity of states

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Modelovani optickych konstant organosilikonovych vrstev pomoci paramtrizave hustoty stavu
Autoři	FRANTA Daniel ZAJÍČKOVÁ Lenka BEGOU Thomas BOUSQUET Angelique GRANIER Agnes BECHE Bruno GOULLET Antoine
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	4th Workshop Ellipsometry
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	optical-konstant-organosilicon-density-states
Popis	Modelovani optickych konstant organosilikonovych vrstev pomoci paramtrizave hustoty stavu
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou