Comparative Study of Films Deposited from HMDSO/O2 in Continuous Wave and Pulsed rf Discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Srovnávací studie vrstev připravených z HMDSO/O2 v kontinuálních a pulzních vf výbojích
Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel BOUSQUET Angelique GRANIER Agnes GOULLET Antoine BURŠÍK Jiří
Rok publikování	2007
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma processes and polymers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www3.interscience.wiley.com/cgi-bin/abstract/114261549/ABSTRACT
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	PECVD; hexamethyldisiloxane; oxygen; CCP; ICP
Popis	Zabývali jsme se srovnávací studií vlastností vrstev připravených ve vf kapacitně vázaném výboji z 5% směsi hexametyldisiloxanu v kyslíku při dvou různých tlacích 2.5 and 40 Pa v kontinuálním a pulzním módu. Změny optických a zejména mechanických vlastností vrstev byly pozorovány v důsledku odlišného tlaku. Malá změna vlastností byla rovněž dosažena pulzováním výboje.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou